光柵尺位移傳感器按照制造方法和光學(xué)原理的不同,分為透射光柵、反射光柵兩大類(lèi)。
1、透射光柵
指光源與接收裝置分別放置在光柵尺的兩側(cè),通過(guò)接收光柵尺透過(guò)來(lái)的衍射光變化來(lái)反應(yīng)位置變化。比較通用的是玻璃光柵。.
2、反射光柵
指光源與接收裝置安裝在光柵尺的同一側(cè),通過(guò)接收光柵尺反射回來(lái)的衍射光變化來(lái)反應(yīng)位置變化。比較通用的有鋼帶光柵和玻璃光柵。.
光柵尺位移傳感器的光柵檢測(cè)
光柵檢測(cè)裝置的關(guān)鍵部分是光柵讀數(shù)頭,它由光源、會(huì)聚透鏡、指示光柵、光電元件及調(diào)整機(jī)構(gòu)等組成。光柵讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)形式很多,根據(jù)讀數(shù)頭結(jié)構(gòu)特點(diǎn)和使用場(chǎng)合,分為直接接收式讀數(shù)頭(或稱(chēng)硅光電池讀數(shù)頭、鏡像式讀數(shù)頭、分光鏡式讀數(shù)頭、金屬光柵反射式讀數(shù)頭。
光柵尺位移傳感器的工作原理
當(dāng)指示光柵上的線(xiàn)紋與標(biāo)尺光柵上的線(xiàn)紋成一角度,來(lái)放置兩光柵尺時(shí),必然會(huì)造成兩光柵尺上的線(xiàn)紋互相交叉。在光源的照射下,交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線(xiàn)紋重疊,因而遮光面積小,擋光效應(yīng)弱,光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶。
相反,距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,因兩光柵尺不透明的黑色線(xiàn)紋的重疊部分變得越來(lái)越少,不透明區(qū)域面積逐漸變大,即遮光面積逐漸變大,使得擋光效應(yīng)變強(qiáng),只有較少的光線(xiàn)能通過(guò)這個(gè)區(qū)域透過(guò)光柵,使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶,從而便形成了我們所見(jiàn)到的爾條紋。
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